ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಮಿರರ್ ಇನ್ಲೈನ್ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೈನ್
ಸಣ್ಣ ವಿವರಣೆ:
ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಮಿರರ್ ಇನ್ಲೈನ್ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೈನ್ ಅನ್ನು ಗಾಜಿನ ಕನ್ನಡಿ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ದೇಶಕ್ಕಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉತ್ಪಾದನೆಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ.ದೊಡ್ಡ ಗಾಜನ್ನು ಲೇಪಿಸಲು ಮತ್ತು ದುರ್ಬಲವಾದ ಗಾಜಿನ ಫಲಕದ ಬಗ್ಗೆ ಕಾಳಜಿ ವಹಿಸಲು, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ಹಾಳೆಗಳಿಗೆ, ನಾವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸಮತಲ ರೀತಿಯ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ರೇಖೆಯನ್ನು ಮಾಡುತ್ತೇವೆ.ಇದು ನಿರಂತರ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಲೇಪನ ರೇಖೆಯಾಗಿದ್ದು, ಮುಂಭಾಗ ಮತ್ತು ಹಿಂಭಾಗದ ಒರಟು ಪಂಪಿಂಗ್ ಚೇಂಬರ್, ಮತ್ತು ಪರಿವರ್ತನೆಯ ಚೇಂಬರ್ ನಂತರ, ಉತ್ತಮವಾದ ಪಂಪಿಂಗ್ ಚೇಂಬರ್, ಬಫರ್ ಚೇಂಬರ್, ಬಣ್ಣ ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯ ಮೊದಲು ಮತ್ತು ನಂತರ.
ಟಾರ್ಗೆಟ್ ಡಿ ವಿನ್ಯಾಸ: ಸಿಲಿಂಡರಾಕಾರದ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ಗಳು ಅಥವಾ/ಮತ್ತು ಸಮತಲ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ಗಳು.
ವಿದ್ಯುತ್ ಮೂಲ: ಹೆಚ್ಚಿನ ವಿದ್ಯುತ್ DC ಅಥವಾ MF ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ನೊಂದಿಗೆ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು
ಡ್ರೈವ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆ: ರೋಲರ್ ಡ್ರೈವ್, ಆವರ್ತನ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ, ಇಂಡಕ್ಷನ್ ಪ್ರಕಾರದ ಕೊಠಡಿ ಬಾಗಿಲು ತೆರೆಯುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆ.
ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆ: ಡಿಫ್ಯೂಷನ್ ಪಂಪ್ (ಅಥವಾ ಟರ್ಬೊ ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್) + ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್ + ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್
ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಮಿರರ್ ಇನ್ಲೈನ್ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೈನ್ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಗಾಜಿನ ಹಾಳೆಗಳ ಮೇಲಿನ ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನವನ್ನು ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸಲು ಬಹು ನಿರ್ವಾತ ಕೋಣೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಬರುತ್ತದೆ.
ಮುಖ್ಯ ಲಕ್ಷಣಗಳು:
1.Max.glass ಕೋಟಿಂಗ್ ಗಾತ್ರ:2440x3660mm ಅಥವಾ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ
2. ಮಲ್ಟಿ-ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಚೇಂಬರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಮಲ್ಟಿ-ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಚೇಂಬರ್ ವಿನ್ಯಾಸ ಲಭ್ಯವಿದೆ
3. ಸಮತಲವಾದ ಕಾಂತೀಯ ನಿಯಂತ್ರಣ ರೇಖೆಯು ಏಕ-ಅಂತ್ಯ ಮತ್ತು ಡಬಲ್-ಎಂಡ್ ರಚನೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ;ಗಾಜಿನ ಡಬಲ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್, ಲೇಪನ, ಪತ್ತೆ, ಚಿತ್ರಕಲೆ, ಒಣಗಿಸುವುದು, ಕೂಲಿಂಗ್ ಎಲ್ಲವನ್ನೂ ಒಂದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಮುಗಿಸಬಹುದು
4. ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಕೋಟಿಂಗ್ ಲೈನ್ ಸಂಪೂರ್ಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕಾಗಿ PLC ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಡೇಟಾವನ್ನು ತೋರಿಸಲು ಬಣ್ಣದ ಪರದೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ
ಲೇಪನಗಳ ಪದರ: ಟೈಟಾನಿಯಂ, ಕ್ರೋಮ್, ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ, ಬೆಳ್ಳಿ, ತಾಮ್ರ, ಇತ್ಯಾದಿ.
ಸಂಯುಕ್ತ: TiN, TiO2, ಇತ್ಯಾದಿ.
ಪದರದ ದಪ್ಪ: 5-100nm
ಪ್ರಸರಣ: 380-780 nm ತರಂಗಾಂತರಗಳಲ್ಲಿ 8-40%
ಠೇವಣಿ ತಾಪಮಾನ: ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶ
8 ಗಂಟೆಗಳ ಪಂಪ್-ಡೌನ್ ನಂತರ ಅಂತಿಮ ಒತ್ತಡ:
ಪ್ರವೇಶ ಲಾಕ್ ಚೇಂಬರ್ ಮತ್ತು ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಲಾಕ್ ಚೇಂಬರ್: 5×10-1 Pa ಅಥವಾ ಕೆಳಗೆ
ಬಫರ್ ಚೇಂಬರ್ 1 : 3×10-3 Pa ಅಥವಾ ಕೆಳಗೆ
ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಚೇಂಬರ್: 2×10-3 Pa ಅಥವಾ ಕೆಳಗೆ
ಬಫರ್ ಚೇಂಬರ್ 2 : 3×10-3 Pa ಅಥವಾ ಕೆಳಗೆ
ಲಾಕ್ ಚೇಂಬರ್ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ಲಾಕ್ ಚೇಂಬರ್ನಿಂದ ನಿರ್ಗಮಿಸಿ: 5×10-1 Pa ಅಥವಾ ಕೆಳಗೆ